光盘缺陷及其对测量值的影响

核心提示： ?调整传递装置，（f）黑色的污点（黑色斑点和小圆点），光盘缺陷及其对测量值的影响(3)，描述：不规则地出现斑点和内含杂物，可能原因：* 附着在螺杆和炮筒内表面的已烧焦的PC胶料剥落所致，?清洁或更换镜面，2．1．3 光盘径向噪音周期性偏高* 母盘不合格（母盘光刻机同心度变坏）* 盘片双折射

?调整传递装置。

（f）黑色的污点（黑色斑点和小圆点）。

描述：不规则地出现斑点和内含杂物。

可能原因：

* 附着在螺杆和炮筒内表面的已烧焦的PC胶料剥落所致。

纠正措施：

?清洁塑化装置部分（螺杆和炮筒内表面）。

（g）暗淡的污点（外来的杂质微粒）。

描述：可见的灰尘、污染物和在十字偏振薄片之间看到的高亮度的冠状物。

可能原因：

* PC胶料在制造或搬运过程中被污染。

* 无尘室条件未达到。

* 冲中心孔时有小的毛边。

纠正措施：

?重新检查PC胶料的搬运过程。

?检查无尘室的状态。

（h）银色线条（气纹、水纹、过热纹）

描述：在液体流动方向有长的银色线条，有时有许多线条，也可能是偶尔出现。

可能原因：

* 融化的胶料中含有空气。

* 注塑嘴处流涎。

* 螺杆减压时吸进空气。

* PC胶料中残留有水份。

* 融胶温度太高。

纠正措施：

?增加背压。

?降低注塑嘴的温度。

?检查胶料干燥机和干燥过程。

?检查融胶温度。

?清洁注塑嘴。

2．1．2 光盘的径向噪音整体偏高

可能原因：

* 母盘不合格（母盘光刻机径向驱动系统问题、劣质的玻璃基片和电镀准备过程有问题）。

* 注塑机的镜面污脏或磨损。

纠正措施：

?更换母盘。

?检查母盘电镀过程。

?清洁或更换镜面。

2．1．3 光盘径向噪音周期性偏高

* 母盘不合格（母盘光刻机同心度变坏）

* 盘片双折射偏大（注塑机参数设置不正确）。

2．2 寻轨信号（PUSH/PULL）

描述：PP表示在寻轨过程中左右两半部分被反射回的激光光能之间的差异。